3、线性误差
位移测量时的误差值，用相对值表示，比如量程5mm的lvdt，线性误差为0.25%，表示测量位移时的误差值5mm×0.25%=1.25um。
4、分辨率
分辨率是指传感器能够测量的变化大小。对于lvdt位移传感器，zui小分辨率zui高可达0.01um，磁尺位移传感器zui高分辩率达1um，数字输出的位移传感器的分辨率为16-bit。
表1包括四行，其中三行对应adxl362的可选工作模式，剩下的一行给出了adxl355的主要指标。从这一权衡空间的关键边界开始，adxl355的噪声比低功耗模式的adxl362要低几乎27倍，但前者的功耗要高得多。性能要求更具挑战性的应用可能需要考虑adxl362的模式，此时adxl355的噪声要低9倍，张力传感器，但adxl362的功耗要低13倍。
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